壓力&高溫運行壽命試驗

PrHTOL

77

3

0?Fails

Customer?tailored?pius?

JEDEC

JESD22-A108?

此測試及其條件是根據(jù)用戶和供應商之間的協(xié)議逐案執(zhí)行的。預測試：每個AEC-Q100測試#A1預處理（PC）。每個AEC-Q100測試的HTOL#B1需求者?考慮到附加的MEMS等級：0A級：165°C?Ta，1000小時，0B級：175°C?Ta，1000小時，壓力條件：*大工作壓力，Pmax（OP），根據(jù)MEMS裝置?壓力范圍試驗前后，在房間，冷，熱溫度（按此順序）。建議持續(xù)監(jiān)測壓力傳感器輸出信號..（PrHTOL取代AEC-Q100測試?#B1HTOL）

塊體模具或擴散缺陷、薄膜穩(wěn)定性和離子污染表面電荷擴散、機械蠕變、膜疲勞、參數(shù)穩(wěn)定性

偏置脈沖壓力溫度循環(huán)

B_PPrTC

77

3

0?Fails

Customer?tailored?pius?

JEDEC

JESD22-A104

此測試及其條件是根據(jù)用戶和供應商之間的協(xié)議逐案執(zhí)行的。預試：每個AEC-Q100測試的預試（PC）#A1TC每個AEC-Q100測試#A4要求?考慮到增加的MEMS等級。：

0A級：-55攝氏度至165攝氏度，適用于2000個周期或等效

0B級：-55攝氏度至175攝氏度

壓力循環(huán)：FP=0.5Hz，*小操作壓力，Pmin（OP），*大操作壓力，Pmax（OP），壓力范圍（壓力上升和下降時間應與壓力任務PRO相對應）?數(shù)據(jù)表中的文件或根據(jù)應用條件進行調(diào)整）電壓條件：保證直流和交流參數(shù)的VCC（*大）

B_PPrTC前后冷熱測試

溫度。需要持續(xù)監(jiān)測壓力傳感器輸出信號..測試后：5個設備的IV（PS11）和WBP（C2）測試；5個部件的DIS（PS12）測試；突發(fā)壓力測試（PS7）和Pro?壓力測試（PS8）一批。（B_PPrTC取代AEC-Q100測試#A4TC，如果供應商能在冷熱室之間保持適當?shù)倪^渡時間）

線鍵、線、模鍵、凝膠曝氣、封裝故障、表面電荷擴散、體積凝膠變化、機械蠕變、膜疲勞、參數(shù)穩(wěn)定性