193mm激光剝蝕系統(tǒng)
作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-11-11 來源：互聯(lián)網(wǎng)
主要規(guī)格及技術(shù)指標
1.1 193nm空氣冷卻氣態(tài)準分子激光源，激光源壽命不少于5億次； 1.2 脈沖寬度： 20ns； 1.3 脈沖穩(wěn)定性：<2%； 1.4 能量密度：1-45 J/cm2； 1.5 剝蝕頻率：1-20Hz；
主要功能及特色
1.剝蝕模式：四種激光剝蝕模式可以任意切換，Single Shot, Burst, Continuous, fixed dosage四種模式； 2.剝蝕斑點尺寸：2-175um 3.光斑：不少于30個剝蝕光斑可選，其中包括不少于20個圓形光斑，6個方形光斑和4個狹縫光斑。通過軟件選擇不同斑點，并且能夠在剝蝕過程中進行不同斑點更換。
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8、檢測報告權(quán)威有效、中國通用；
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