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四源金屬蒸鍍腔-手套箱系統

作者:百檢網 時間:2021-11-11 來源:互聯網

主要規格及技術指標

l.1、*限真空(空載 ):≤5×10^-5Pa 1.2、工作真空:≤5×10^-4Pa(充入干燥純氮氣條件下 ,分子泵正常工作30分鐘內達到) 1.3、真空室體結構:于前、后兩面均設置大口徑型活動密封門。使之具備和手套箱貫通,也可獨立密封實施薄膜沉積的雙重結構條件

主要功能及特色

主要包括手套箱系統和熱蒸發鍍膜系統,主要沉積金屬薄膜,兩個系統可以獨立使用,也可以聯合使用

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