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3D振鏡動態聚焦系統

作者:百檢網 時間:2021-11-11 來源:互聯網

主要規格及技術指標

其主要技術參數包括:常規追蹤誤差時間<0.13ms;重復定位精度<2 ?rad;通光孔徑14 mm;小步長響應時間<0.4 ms;定位速度~6 m/s;8小時工作漂移<0.1 mrad;掃描角度 ±0.35 rad;非線性度0.9 mrad/44°;增益漂<25 ppm/K;零點漂移 <5 mrad;掃描范圍110×110 mm2;聚焦光斑直徑35 ?m(M2=1);括束因子2.8;焦距160 mm。

主要功能及特色

3D振鏡動態聚焦系統可以將激光束入射到兩掃描鏡上,通過計算機控制反射鏡的反射角度,從而達到激光束的偏轉,使激光聚焦點按要求運動。

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