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蒸發鍍膜機

作者:百檢網 時間:2021-11-11 來源:互聯網

  • 詳細信息

    主要技術指標:

    1. 包含熱阻式蒸發和電子束蒸發功能 2. *限真空≤6×10-5Pa;腔室從大氣開始抽氣,在≤40分鐘內,其真空度≤6×10-4Pa;采用一臺復合真空計測量真空度。 3. 鍍膜過程中,襯底溫度≤80℃ 4. Ø4英寸樣品鍍膜均勻度≤±5% 5. 全部操控均為電控并配置相應的互鎖機構 6. 蒸發源與襯底間距260mm±40mm,精確可調 7. 樣品轉盤上可攜掛1片4寸樣片及其它小于4寸的小樣片 8. 電子槍1套,其主要技術參數:一臺6KW 電子槍;電子束偏轉角270º;陽*電壓有6KV和8KV兩擋,面板切換;束流在0-750mA范圍內可調;偏轉電源:X方向掃描頻率0-20Hz可調,Y方向掃描頻率0-20Hz可調; 啟動真空度:6.7×10-3Pa;槍電源高壓滅弧自動復位。 9. 坩堝為四穴水冷銅坩堝,每個坩堝的尺寸為:20ml。可以電動換位。

    主要功能:

    多項蒸發鍍膜技術的交叉結合,可以實現多種材料的高性能薄膜沉積。

  • 服務信息

    服務內容:

    種材料的高性能薄膜沉積

    收費標準:

    600元/小時+300元/次工藝+材料費

    用戶須知:

    參考學校共享相關規定

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    客戶案例展示

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