服務(wù)領(lǐng)域： 技術(shù)指標(biāo)： 1.重量：50kg（含顯微鏡）。 2.尺寸：590mm寬*500mm長(zhǎng)*700mm高（含顯微鏡）。 3.顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍1"X1"，精度3μm。 4.探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm。 5. 6"卡盤(pán)，卡盤(pán)平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑250μm（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大小）， 6.*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，*大能夠吸住尺寸為6"X6"。 生產(chǎn)廠商： EVETBEING 儀器國(guó)別： 啟用時(shí)間： 2012-01-01 儀器認(rèn)證： 廠家合格證 安放地點(diǎn)： 主要用途： 奕葉探針臺(tái) 主要附件及功能： 半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)試