服務(wù)領(lǐng)域： 技術(shù)指標(biāo)： "*限真空度：≤6.67x10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后，分子泵單獨(dú)抽氣)； 系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S； 系統(tǒng)從大氣開(kāi)始抽氣，30分鐘可達(dá)到6.6x10-4 Pa； 停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤5 Pa； 工作真空度：13-1300Pa； 系統(tǒng)主要由真空反應(yīng)室、上蓋組件、基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成，采用噴淋頭在下，樣品臺(tái)在上成膜方式； " 生產(chǎn)廠商： 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司 儀器國(guó)別： 啟用時(shí)間： 2013-04-12 儀器認(rèn)證： 無(wú) 安放地點(diǎn)： 材料學(xué)院8007 主要用途： 樣品測(cè)試、分析檢測(cè) 主要附件及功能： 系統(tǒng)可用于開(kāi)發(fā)納米級(jí)的單層及多層功能膜和復(fù)合膜，可鍍金屬、合金化合物、半導(dǎo)體、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜和其它化學(xué)反應(yīng)膜等