1.范圍

本標準規(guī)定了蒸發(fā)金的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存。

本標準主要適用于制造半導體器件用芯片時背金用蒸發(fā)金。

2.規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 11066(所有部分) 金化學分析方法

GB/T 15077 貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T 25934(所有部分) 高純金化學分析方法

3.要求

3.1 產(chǎn)品分類

3.1.1 蒸發(fā)金產(chǎn)品按化學成分分為Z-Au99.99和Z-Au99.99兩種牌號。

3.1.2 蒸發(fā)金產(chǎn)品主要以片狀、柱狀和線盤狀為主,產(chǎn)品形狀及供貨狀態(tài)應滿足表1的要求。需方有其他要求時由供需雙方協(xié)商解決。

3.2 產(chǎn)品標記示例

3.2.1 柱狀蒸發(fā)金標記

示例:直徑為5mm、長度為20mm、成分為99.999%的柱狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標記為:Z-Au99.999,Φ5×20mm。

3.2.2 蒸發(fā)金片狀產(chǎn)品標記

示例:長為10mm、寬為10mm、厚為2mm的片狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標記為:Z-Au99.999,10×10×2mm。

3.2.3 蒸發(fā)金線盤狀產(chǎn)品標記

示例:線徑為0.5mm、每盤200g重量的線盤狀蒸發(fā)金產(chǎn)品 標記為:Z-Au99.999,Φ0.5mm,200g/線盤。

3.3 化學成分

產(chǎn)品化學成分應符合表2的要求,其中金質量分數(shù)為****減去表中規(guī)定的雜質實測值的總和而得。需方對某種特定雜質元素含量有要求的,按供需雙方協(xié)商進行。

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下載地址：《GB/T 26312-2010 蒸發(fā)金》