1.范圍

本標(biāo)準(zhǔn)界定了泄漏檢測的技術(shù)術(shù)語。

2.術(shù)語和定義

2.1 **壓力 absolute pressure

**壓強(qiáng)

與真空空間相對應(yīng)的**零值以上的壓力,即地區(qū)大氣壓力加上表壓力。

2.2 吸收 absorption

氣體滲入或浸入到固體(或液體)內(nèi)部。

2.3 漏隙 aperture leak

幾何形狀為漏道的長度遠(yuǎn)小于其*小直徑的一種漏孔,因此,可認(rèn)為這種漏孔等效為無限薄壁上的個通孔。

2.4 大氣壓(標(biāo)準(zhǔn)) atmosphere( standard)

0℃時,在標(biāo)準(zhǔn)重力加速度下,760mm高汞柱所產(chǎn)生的壓力,相當(dāng)于101325Pa。

2.5 大氣壓力 atmospheric pressure

在特定地點(diǎn)和時間的大氣的壓力。

2.6 原子質(zhì)量單位 atomic mass unit;amu

粒子(原子、分子、離子等)質(zhì)量的度量單位,定義為碳原子12質(zhì)量的1/12。以原子質(zhì)量單位表示的粒子質(zhì)量的數(shù)值與過去采用的原子量相同。

2.7 背景信號 background signal

因存在殘留的示蹤氣體或其他會引起檢測元件響應(yīng)的物質(zhì),而使檢漏儀產(chǎn)生穩(wěn)定的或波動的輸出信號。

2.8 前級空間 backing space

前級泵〔預(yù)真空泵)與連帶的擴(kuò)散泵(或要求預(yù)真空泵的其他類型泵)之間的空間。

2.9 烘烤 bake-out

在抽氣過程中,用加熱方法使真空系統(tǒng)脫氣的過程。

2.10 前級罐 ballast

當(dāng)預(yù)真空泵暫停時,能維持低的前級壓力的足夠大的前級空間。

2.11 清除 clean-up

清除時間 clean-up time

泄漏檢測系統(tǒng)的信號輸出減少到示蹤氣體停止進(jìn)人泄漏系統(tǒng)時所指示信號的37%所需的時間。

2.12 濃度比 concentration ratio

一種(氣體)混合物中某種成分的原子(分子)數(shù)與該混合物中的原子(分子)總數(shù)之比。對于理想氣體來說,濃度比與該成分的體積分?jǐn)?shù)或分壓力相同。

2.13 流導(dǎo)率 conductance

氣體流經(jīng)導(dǎo)管或通氣孔的流速(在穩(wěn)態(tài)守恒條件下)與導(dǎo)管兩端或通氣孔兩側(cè)氣體的分壓差之比,以單位時間內(nèi)的體積表示,如m3/s。

2.14 露點(diǎn)溫度 dew point temperature

空氣中水汽已達(dá)到飽和,水蒸氣將變?yōu)槁吨榈臏囟取?/p>

2.15 擴(kuò)散 diffusion

氣體穿過一種物質(zhì)的流動,實(shí)際上氣體是通過該物質(zhì)的晶格的遷移,而不是通過幾何漏孔(孔徑可與分子直徑相比)的泄漏。

2.16 離解 dissociation

裂解 cracking

分解

種物質(zhì)分解成兩種或更多種成分。

2.17 漂移 drift

不是示蹤氣體量的變化,而是由于電子學(xué)上的原因引起的檢漏儀本底輸出電平出現(xiàn)相對緩慢變化的現(xiàn)象。

2.18 于泡溫度 dry bulb temperature

系統(tǒng)中氣體的環(huán)境溫度。

2.19 檢漏儀的動態(tài)靈敏度 dynamic sensitivity of leak detector

在規(guī)定條件下,對被檢密閉體持續(xù)進(jìn)行有效地抽空時,檢漏儀能夠檢出的*小漏率。

2.20 等效氮壓力 equivalent nitrogen pressure

等效氮壓

如果裝置內(nèi)的氣體用相同分子密度的氮?dú)獯鏁r,由壓力表或其他儀表所指示出的計(jì)算壓力。

2.21 淹沒系統(tǒng) flooded system

在檢測時已被示蹤氣體充滿,以致不能進(jìn)一步實(shí)施泄漏檢測的系統(tǒng)。

2.22 流速 flow rate

流量 flow throughput

a) 氣體通過系統(tǒng)給定截面的速率,用單位時間內(nèi)通過的氣體體積與該界面上的(分)壓力的乘積來確定;

b) 在通氣管兩端或孔的兩側(cè)氣體分壓力差與該通氣管或孔的導(dǎo)氣率的乘積,以單位時間內(nèi)壓力-體積表示,如Pa·m3/s。

2.23 前級壓力 fore pressure

背壓 back pressure

抽氣壓力 exhaust pressure

排氣壓力 discharge pressure

出口壓力 outlet pressure

在靠近泵出口處測出的泵出口側(cè)的總壓力。在討論噴汽的作用時,術(shù)語前級壓力可用來表示噴汽沖擊氣體的總壓力。

2.24 表壓力 gauge pressure

表壓

**壓力與大氣壓力之差。

2.25 氣體gas

物質(zhì)的一種形態(tài)。在此形態(tài)下,分子實(shí)際上不受分子間力的約束,因而分子能自由地占據(jù)密閉體內(nèi)的整個空間。在真空技術(shù)中,氣體這個詞在不嚴(yán)格的情況下,也可應(yīng)用于真空系統(tǒng)中的不凝結(jié)氣體和蒸汽。

2.26 氦漂移 helium drift

用探頭進(jìn)行泄漏檢測時,距探頭端部一定距離處的漏孔或可滲透墊圈引起的漂移。這種漂移被探頭測出,可能使操作者誤認(rèn)為探頭附近區(qū)域有泄漏;或由于探測管中氦濃度的緩慢變化(因泄漏或釋氣)而引起檢漏儀輸出儀表指針的逐漸漂移,以時間單位內(nèi)的移動刻度數(shù)表示。

2.27 嚴(yán)格氣密的密封 hermetically tight seal

當(dāng)將對壓力側(cè)氣體敏感的商用檢測儀置于相對一側(cè)進(jìn)行動態(tài)檢測,或使用任何形式的液體檢測,均未顯示泄漏的密封。

2.28 理想氣體 ideal gas

**氣體 perfect gas

種遵循波義耳定律( Boyle’slaw)并具有自由膨脹無熱效應(yīng)[或者也遵循查理定律( Charle’s law)]的氣體。

2.29 惰性氣體 inert ga

與其他物質(zhì)很難化合的氣體,例如氦氣、氖氣、氬氣。

2.30 泄入率 in-leakage rate

在特定抽空的容器中所有漏孔產(chǎn)生的漏率之和,以單位時間內(nèi)的壓力-體積單位表示。

2.31 儀器校準(zhǔn) instrument calibration

將尺寸已知的標(biāo)準(zhǔn)漏孔連接到一個獨(dú)立的檢漏儀,以便在特定的壓力和溫度下測出特定氣體的*小漏率,該泄漏儀能通過泄漏指示刻度將該壓力和溫度標(biāo)識在特定區(qū)域。

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