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化學(xué)所發(fā)展出有機(jī)高分子半導(dǎo)體高效圖案化新策

作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2022-05-17 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)

  近年來(lái),高遷移率的有機(jī)高分子半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)合成研究取得進(jìn)展。然而,真正將有機(jī)高分子半導(dǎo)體的可溶液加工、柔性這些獨(dú)特性質(zhì)應(yīng)用在集成電路中,仍面臨困難。在集成電路中,半導(dǎo)體的圖案化可以降低柵*漏電流,避免相鄰器件間的串?dāng)_,降低電路整體功耗。而當(dāng)前針對(duì)有機(jī)高分子半導(dǎo)體的大面積、高集成度的圖案化方法較少。此外,器件在全溶液加工過(guò)程中涉及的多種材料對(duì)非正交溶劑的耐受性較差,上層材料的加工過(guò)程會(huì)破壞下層材料。利用分子設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)有機(jī)高分子半導(dǎo)體的可控光化學(xué)交聯(lián)是解決上述問(wèn)題的方案之一,而設(shè)計(jì)合成高效的化學(xué)交聯(lián)劑至關(guān)重要。
  中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所有機(jī)固體重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研究員張德清課題組設(shè)計(jì)合成了一種新的雙吖丙啶類交聯(lián)劑4CNN,實(shí)現(xiàn)了有機(jī)高分子半導(dǎo)體的高效圖案化,為全溶液加工柔性電路提供了新思路。這種“四臂”型交聯(lián)劑4CNN具有以下優(yōu)點(diǎn):雙吖丙啶類化合物在紫外光照射或加熱條件下能夠高效產(chǎn)生活性卡賓中間體,并能迅速與其鄰近的C(sp3)-H鍵高效地發(fā)生插入反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)化學(xué)交聯(lián),在無(wú)紫外光照和常溫條件下該類化合物具有較好的穩(wěn)定性;4CNN分子構(gòu)型呈四面體型,四個(gè)活性雙吖丙啶基團(tuán)均勻分布在四面體的頂點(diǎn)上,同時(shí)該分子本身不含C(sp3)-H鍵,這些結(jié)構(gòu)特點(diǎn)賦予其高效的交聯(lián)能力,降低了交聯(lián)劑的用量;不同于已報(bào)道的疊氮類交聯(lián)劑,4CNN通過(guò)卡賓的插入反應(yīng)實(shí)現(xiàn)高分子側(cè)鏈交聯(lián)不會(huì)引入氮等雜原子。
  研究以四種高性能聚合物半導(dǎo)體為例,細(xì)致優(yōu)化條件,發(fā)現(xiàn)在交聯(lián)劑添加量不大于3%(w/w)時(shí),通過(guò)365 nm紫外光(30mW/cm2)照射交聯(lián)劑和聚合物的共混薄膜僅40秒便可實(shí)現(xiàn)p-型、n-型和雙*性共軛聚合物的高效交聯(lián),交聯(lián)后的薄膜在氯仿溶液中不溶解。具體圖案化過(guò)程為:將交聯(lián)劑和聚合物半導(dǎo)體溶液共混,通過(guò)旋涂-掩膜-紫外光照-氯仿清洗四個(gè)步驟,可以實(shí)現(xiàn)一種材料的高精度圖案化,并可以實(shí)現(xiàn)不同材料的多層圖案化集成。
  研究進(jìn)一步通過(guò)AFM和GIWAXS圖發(fā)現(xiàn)四種聚合物薄膜交聯(lián)前后的形貌和鏈間排列并未發(fā)生明顯變化,并通過(guò)場(chǎng)效應(yīng)晶體管器件對(duì)以上四種聚合物的矩形圖案陣列的電荷傳輸性能進(jìn)行表征。與未加交聯(lián)劑的半導(dǎo)體薄膜相比,圖案化薄膜的遷移率保留率可達(dá)60%-91%,同時(shí)四種聚合物交聯(lián)前后的遷移率、閾值電壓的分布并未明顯變化。此外,兩步圖案化可以構(gòu)筑基于PDPP4T和N2200的反相器。該研究為有機(jī)高分子半導(dǎo)體的高效圖案化提供了新策略。

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