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無機異物分析方法及標準

作者:百檢網 時間:2022-07-29 來源:互聯網

無機異物分析是指針對產品表面的無機異物,根據異物的形態、檢測深度及檢測面積等差異而選用特定的儀器,對其無機成分進行分析,測定其中元素成分及含量,進而分析組成的一種分析方法。相較與有機異物,無機異物則表現出質地更硬,色澤更深,且較不透光等特點。無機異物的分析手段主要有以下幾種:



分析手段 典型應用 分析特點 參考標準

掃描電子顯微鏡&X射線能譜SEM/EDS 表面微觀形貌觀察;微米級尺寸量測;微區成分分析;污染物分析 能快速的對各種試樣的微區內Be——U的大部分元素進行定性、定量分析,分析時間短 JY/T 010-1996

GB/T 17359-2012

飛行時間二次離子質譜TOF-SIMS 有機材料和無機材料的表面微量分析;表面離子成像;深度剖面分析 優異的摻雜劑和雜質檢測靈敏度可以檢測到ppm或更低的濃度;深度剖析具有良好的檢測限制和深度辨析率;小面積分析 ASTM E1078-2009

ASTM E1504-2011

ASTM E1829-2009

動態二次離子質譜D-SIMS 產品表面微小的異物分析;氧化膜厚度分析;摻雜元素的含量測定 分析區域小,能分析≥10μm直徑的異物成分;分析深度淺,可測量≥1nm樣品;檢出限高,一般是ppm-ppb級別 ASTM E1078-2009

ASTM E1504-2011

ASTM E1829-2009

俄歇電子能譜AES 缺陷分析;顆粒分析;深度剖面分析;薄膜成分分析 可以作表面微區的分析,并且可以從熒光屏上直接獲得俄歇元素像 GB/T 26533-2011

X射線光電子能譜XPS 有機材料、無機材料、污點、殘留物的表面分析;表面成分及化學狀態信息;深度剖面分析 分析層薄,分析元素廣,可以分析樣品表面1-12nm的元素和元素含量 GB/T 30704-2014

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