標準號：GB/T 39145-2020
中文標準名稱：硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質譜法
英文標準名稱：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
標準狀態：即將實施,發布于2020-10-11; 實施于2021-09-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2020-10-11
實施日期：2021-09-01
中國標準分類號：77.040
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：南京國盛電子有限公司;浙江金瑞泓科技股份有限公司;有色金屬技術經濟研究院;龍騰半導體有限公司;有研半導體材料有限公司;上海合晶硅材料有限公司;無錫華瑛微電子技術有限公司;廈門科鑫電子有限公司
相近標準：20173545-T-469 硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質譜法; 硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質譜法; SJ/T 11555-2015 用電感耦合等離子體質譜法測定硝酸中金屬元素的含量; HJ 766－2015 固體廢物 金屬元素的測定 電感耦合等離子體質譜法; DB65/T 3974-2017 土壤中重金屬元素的測定 電感耦合等離子體質譜法; DB63/T1871-2020 牧草 7種金屬元素的測定 微波消解/電感耦合等離子體質譜法; 口腔清潔護理用品 牙膏中10種金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質譜法; HJ 657－2013 空氣和廢氣 顆粒物中鉛等金屬元素的測定 電感耦合等離子體質譜法; DB12/T 1020—2020 海產品中重金屬元素的測定方法 電感耦合等離子體質譜法; HJ 803-2016 土壤和沉積物 12種金屬元素的測定 王水提取-電感耦合等離子體質譜法