標準號：GB/T 39145-2020
中文標準名稱：硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
英文標準名稱：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
標準狀態(tài)：即將實施,發(fā)布于2020-10-11; 實施于2021-09-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2020-10-11
實施日期：2021-09-01
中國標準分類號：77.040
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：南京國盛電子有限公司;浙江金瑞泓科技股份有限公司;有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院;龍騰半導體有限公司;有研半導體材料有限公司;上海合晶硅材料有限公司;無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司;廈門科鑫電子有限公司
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