GB/T 19921-2018 硅拋光片表面顆粒測試方法 現行
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：硅拋光片表面顆粒測試方法
英文標準名稱：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
標準狀態：現行,發布于2018-12-28; 實施于2019-07-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2018-12-28
實施日期：2019-07-01
中國標準分類號：77.040
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：有研半導體材料有限公司;浙江金瑞泓科技股份有限公司;有色金屬技術經濟研究院;上海合晶硅材料有限公司;南京國盛電子有限公司;天津市環歐半導體材料技術有限公司
全部替代標準：GB/T 19921-2005
相近標準：20151791-T-469 硅拋光片表面顆粒測試方法; 硅拋光片表面顆粒測試方法; GB/T 19921-2005 硅拋光片表面顆粒測試方法; GB/T 6621-1995 硅拋光片表面平整度測試方法; YS/T 25-1992 硅拋光片表面清洗方法; 20000544-T-610 硅拋光片表面質量（顆粒）檢測方法; SJ/T 11504-2015 碳化硅單晶拋光片表面質量的測試方法; SJ/T 11503-2015 碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的測試方法; GB/T 6624-1995 硅拋光片表面質量目測檢驗方法; GB/T 6624-2009 硅拋光片表面質量目測檢驗方法
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