標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 35310-2017
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：200mm硅外延片
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：200mm silicon epitaxial wafer
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2017-12-29; 實(shí)施于2018-07-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2017-12-29
實(shí)施日期：2018-07-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：29.045
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：29.045
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
執(zhí)行單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門(mén)：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：南京國(guó)盛電子有限公司;有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院
相近標(biāo)準(zhǔn)：20141871-T-469 200mm硅外延片; JB/T 6596-1993 滾齒機(jī) 精度(*大工件直徑小于200mm); SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圓用半導(dǎo)體設(shè)備裝載端口規(guī)范; 20032668-T-607 道路交通信號(hào)燈 200mm圓形信號(hào)燈的光度特性; GB/T 20149-2006 道路交通信號(hào)燈 200mm圓形信號(hào)燈的光度特性; 工業(yè)車(chē)輛 穩(wěn)定性驗(yàn)證 第21部分：操作者位置起升高度大于1 200mm的揀選車(chē); 20200542-T-604 工業(yè)車(chē)輛 穩(wěn)定性驗(yàn)證 第4部分：托盤(pán)堆垛車(chē)、雙層堆垛車(chē)和操作者位置起升高度不大于1 200mm的揀選車(chē); 工業(yè)車(chē)輛 穩(wěn)定性驗(yàn)證 第4部分：托盤(pán)堆垛車(chē)、雙層堆垛車(chē)和操作者位置起升高度不大于1 200mm的揀選車(chē); SH/T 0190-1992 液體潤(rùn)滑劑摩檫系數(shù)測(cè)定法(MM-200法); GB/T 14139-2009 硅外延片