標準號：GB/T 34899-2017
中文標準名稱：微機電系統（MEMS）技術 基于拉曼光譜法的微結構表面應力測試方法
英文標準名稱：Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
標準狀態：現行,發布于2017-11-01; 實施于2018-05-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2017-11-01
實施日期：2018-05-01
中國標準分類號：31.200
國際標準分類號：31.200
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會
執行單位：全國微機電技術標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中北大學;中機生產力促進中心
相近標準：20120468-T-469 微機電系統（MEMS）技術 基于拉曼光譜法的微結構表面應力測試方法; GB/T 34894-2017 微機電系統（MEMS）技術 基于光學干涉的MEMS微結構應變梯度測量方法; GB/T 34900-2017 微機電系統（MEMS）技術 基于光學干涉的MEMS微結構殘余應變測量方法; 20120467-T-469 微機電系統（MEMS）技術 基于光學干涉的MEMS微結構應變梯度測量方法; 20120465-T-469 微機電系統（MEMS）技術 基于光學干涉的MEMS微結構殘余應變測量方法; GB/T 34893-2017 微機電系統（MEMS）技術 基于光學干涉的MEMS微結構面內長度測量方法; 20120466-T-469 微機電系統（MEMS）技術 基于光學干涉的MEMS微結構面內長度測量方法; GB/T 26111-2010 微機電系統（MEMS）技術 術語; 20200872-T-469 微機電系統（MEMS）技術 術語; 微機電系統（MEMS）技術 術語