標準號：GB/T 34898-2017
中文標準名稱：微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法
英文標準名稱：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
標準狀態：現行,發布于2017-11-01; 實施于2018-05-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2017-11-01
實施日期：2018-05-01
中國標準分類號：31.200
國際標準分類號：31.200
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會
執行單位：全國微機電技術標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：北京遙測技術研究所;中機生產力促進中心
相近標準：20142055-T-469 微機電系統（MEMS）技術 MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法; GB/T 26111-2010 微機電系統（MEMS）技術 術語; 20200872-T-469 微機電系統（MEMS）技術 術語; 微機電系統（MEMS）技術 術語; 20075896-T-469 微機電系統（MEMS）技術 術語; 微機電系統（MEMS）技術 可靠性綜合環境測試方法; GB/T 26112-2010 微機電系統（MEMS）技術 微機械量評定總則; 20075897-T-469 微機電系統（MEMS）技術 微機械量評定總則; 微機電系統（MEMS）技術 采用MEMS諧振結構檢測薄膜材料彎曲疲勞特性的方法; GB/T 38447-2020 微機電系統（MEMS）技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法