標準號：GB/T 5226.33-2017
中文標準名稱：機械電氣安全 機械電氣設備 第33部分：半導體設備技術條件
英文標準名稱：Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
標準狀態：現行,發布于2017-10-14; 實施于2018-05-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2017-10-14
實施日期：2018-05-01
中國標準分類號：29.020
國際標準分類號：29.020
歸口單位：全國工業機械電氣系統標準化技術委員會
執行單位：全國工業機械電氣系統標準化技術委員會
主管部門：中國機械工業聯合會
起草單位：中微半導體設備(上海)有限公司;上海微電子裝備有限公司;沈陽拓荊科技有限公司;中晟光電設備（上海）有限公司;盛美半導體設備（上海）有限公司;北京機床研究所;北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司;北京七星華創電子股份有限公司;理想太陽能（上海）有限公司
采標情況：本標準等同采用IEC國際標準：IEC 60204-33:2009。
采標中文名稱:機械電氣安全 機械電氣設備 第33部分:半導體設備技術條件。
相近標準：20111071-Q-604 機械電氣安全 機械電氣設備 第33部分：半導體設備技術條件; 20141881-T-469 半導體設備安全標識要求; GB/T 15872-2013 半導體設備電源接口; GB/T 15872-1995 半導體設備電源接口; 20064394-T-339 半導體設備電源接口; 20068499-T-522 船舶電氣設備 設備 半導體變流器; GB/T 22193-2008 船舶電氣設備 設備 半導體變流器; SJ/T 11762-2020 半導體設備制造信息標識要求; 20153730-T-469 300mm半導體設備裝載端口要求; 20141882-T-469 半導體設備電壓暫降抗擾度要求