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GB/T 34091-2017 電子工業用氣體六氟乙烷現行

作者：百檢網時間：2021-05-26

標準號：GB/T 34091-2017
中文標準名稱：電子工業用氣體六氟乙烷
英文標準名稱：Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
標準狀態：現行,發布于2017-07-31; 實施于2017-11-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2017-07-31
實施日期：2017-11-01
中國標準分類號：71.100.20
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：浙江省化工研究院有限公司;四川中測標物科技有限公司;西南化工研究設計院有限公司;東莞市聯臣電子科技有限公司;天津長蘆華信化工股份有限公司;廣東華特氣體股份有限公司;高麥儀器公司;上海華愛色譜分析技術有限公司;國家化學工業氣體產品質量監督檢驗中心（福建）;中昊光明化工研究設計院有限公司
相近標準：20132258-T-469 電子工業用氣體六氟乙烷; GB/T 15909-2017 電子工業用氣體硅烷; GB/T 33774-2017 電子工業用氣體丙烯; GB/T 14601-2009 電子工業用氣體氨; GB/T 16945-2009 電子工業用氣體氬; GB/T 16944-2009 電子工業用氣體氮; GB/T 14604-2009 電子工業用氣體氧; GB/T 16942-2009 電子工業用氣體氫; GB/T 16943-2009 電子工業用氣體氦; GB/T 16942-1997 電子工業用氣體氫

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