GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規范 現行
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規范
英文標準名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
標準狀態：現行,發布于2016-08-29; 實施于2017-03-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2016-08-29
實施日期：2017-03-01
中國標準分類號：31.200
國際標準分類號：31.200
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會
執行單位：全國微機電技術標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：北京大學;大連理工大學;中機生產力促進中心;北京青鳥元芯微系統科技有限公司
相近標準：20110877-T-469 硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規范; GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技術 基于SOI硅片的MEMS工藝規范; 20110875-T-469 硅基MEMS制造技術 基于SOI硅片的MEMS工藝規范; GB/T 39471-2020 云制造服務平臺制造資源接入集成規范; 20173695-T-604 云制造服務平臺制造資源接入集成規范; 云制造服務平臺制造資源接入集成規范; GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技術 體硅溶片工藝規范; 20090278-T-469 硅基MEMS制造技術 體硅溶片工藝規范; GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技術 體硅壓阻加工工藝規范; 20110874-T-469 硅基MEMS制造技術 體硅壓阻加工工藝規范
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