標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 30653-2014
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Ⅲ族氮化物外延片結(jié)晶質(zhì)量測試方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Test method for crystal quality of III-nitride epitaxial layers
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2014-12-31; 實(shí)施于2015-09-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2014-12-31
實(shí)施日期：2015-09-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：77.040.20
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：77.040.20
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
執(zhí)行單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
相近標(biāo)準(zhǔn)：20110044-T-469 Ⅲ族氮化物外延片結(jié)晶質(zhì)量測試方法; GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常數(shù)測試方法; 20110045-T-469 Ⅲ族氮化物外延片晶格常數(shù)測試方法; GB/T 30655-2014 氮化物L(fēng)ED外延片內(nèi)量子效率測試方法; 20110050-T-469 氮化物L(fēng)ED外延片內(nèi)量子效率測試方法; GB/T 36646-2018 制備氮化物半導(dǎo)體材料用氫化物氣相外延設(shè)備; 20130022-T-469 制備氮化物半導(dǎo)體材料用氫化物氣相外延設(shè)備; 20184479-T-469 連續(xù)氮化物陶瓷纖維測試方法 第1部分：氮含量; 連續(xù)氮化物陶瓷纖維測試方法 第1部分 氮含量; GB/T 30075-2013 LED用稀土氮化物紅色熒光粉