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GB/T 29057-2012 用區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程 現行

作者:百檢網 時間:2021-05-26

標準號:GB/T 29057-2012
中文標準名稱:用區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程
英文標準名稱:Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
標準狀態:現行,發布于2012-12-31; 實施于2013-10-01; 廢止
標準類型:國家標準
標準性質:推薦性
發布日期:2012-12-31
實施日期:2013-10-01
中國標準分類號:29.045
國際標準分類號:29.045
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
起草單位:四川新光硅業科技有限責任公司;天威四川硅業有限責任公司;樂山樂電天威硅業科技有限責任公司
采標情況:本標準修改采用其他國際標準:SEMI MF1723-1104。
采標中文名稱:用區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程。
相近標準:20210890-T-469 區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程; 區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程; 20081144-T-469 用區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程; GB/T 35309-2017 用區熔法和光譜分析法評價顆粒狀多晶硅的規程; 20141880-T-469 用區熔法和光譜分析法評價顆粒狀多晶硅的規程; GB/T 15337-1994 原子吸收光譜分析法通則; 20063252-T-606 原子吸收光譜分析法通則; GB/T 15337-2008 原子吸收光譜分析法通則; GB/T 14203-2016 火花放電原子發射光譜分析法通則; 20112253-T-605 火花放電原子發射光譜分析法通則

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