標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 28632-2012
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2012-07-31; 實(shí)施于2013-02-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2012-07-31
實(shí)施日期：2013-02-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：71.040.40
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：71.040.40
歸口單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院;納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心
采標(biāo)情況：本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO國際標(biāo)準(zhǔn)：ISO 18516:2006。
采標(biāo)中文名稱:表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定。
相近標(biāo)準(zhǔn)：20078461-T-491 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定; GB/T 30704-2014 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 分析指南; 20121403-T-469 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 分析指南; GB/T 29556-2013 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定; 20110884-T-469 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定; GB/T 36401-2018 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結(jié)果的報(bào)告; 20151802-T-469 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結(jié)果的報(bào)告; 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結(jié)果的報(bào)告; GB/Z 32490-2016 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 確定本底的程序; 20110878-T-469 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 確定本底的程序