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GB/T 28632-2012 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定 現(xiàn)行

作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-05-26

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 28632-2012
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行,發(fā)布于2012-07-31; 實(shí)施于2013-02-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型:國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性
發(fā)布日期:2012-07-31
實(shí)施日期:2013-02-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號:71.040.40
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號:71.040.40
歸口單位:全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位:全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門:國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位:上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院;納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心
采標(biāo)情況:本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO國際標(biāo)準(zhǔn):ISO 18516:2006。
采標(biāo)中文名稱:表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定。
相近標(biāo)準(zhǔn):20078461-T-491 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測定; GB/T 30704-2014 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 分析指南; 20121403-T-469 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 分析指南; GB/T 29556-2013 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定; 20110884-T-469 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定; GB/T 36401-2018 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結(jié)果的報(bào)告; 20151802-T-469 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結(jié)果的報(bào)告; 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 薄膜分析結(jié)果的報(bào)告; GB/Z 32490-2016 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 確定本底的程序; 20110878-T-469 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜 確定本底的程序

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