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GB/T 14604-2009 電子工業用氣體氧現行

作者：百檢網時間：2021-05-26

標準號：GB/T 14604-2009
中文標準名稱：電子工業用氣體氧
英文標準名稱：Gas for electronic industry - Oxygen
標準狀態：現行,發布于2009-10-30; 實施于2010-05-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
中國標準分類號：71.100.20
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國計量科學研究院;西南化工研究設計院
全部替代標準：GB/T 14604-1993
相近標準：GB/T 15909-2017 電子工業用氣體硅烷; GB/T 33774-2017 電子工業用氣體丙烯; GB/T 14601-2009 電子工業用氣體氨; GB/T 16945-2009 電子工業用氣體氬; GB/T 16944-2009 電子工業用氣體氮; GB/T 16942-2009 電子工業用氣體氫; GB/T 16943-2009 電子工業用氣體氦; GB/T 16942-1997 電子工業用氣體氫; GB/T 16943-1997 電子工業用氣體氦; GB/T 16945-1997 電子工業用氣體氬

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