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GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法現(xiàn)行

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-05-26

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 1551-2009
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅單晶電阻率測定方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2009-10-30; 實施于2010-06-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2009-10-30
實施日期：2010-06-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：29.045
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：29.045
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心;中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
全部替代標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 1551-1995,GB/T 1552-1995
采標(biāo)情況：本標(biāo)準(zhǔn)修改采用其他國際標(biāo)準(zhǔn)：SEMI MF 84-1105、SEMI MF 397-1106。
采標(biāo)中文名稱:硅片電阻率測定四探針法、硅棒電阻率測定兩探針法。
相近標(biāo)準(zhǔn)：20060505-T-469 硅單晶電阻率測定方法; 20181809-T-469 硅單晶電阻率的測定直排四探針法和直流兩探針法; 硅單晶電阻率的測定直排四探針法和直流兩探針法; GB/T 24521-2009 焦炭電阻率測定方法; 20074188-T-605 焦炭電阻率測定方法; 20202829-T-469 半絕緣碳化硅單晶的電阻率非接觸測試方法; 半絕緣碳化硅單晶的電阻率非接觸測試方法; GB/T 16427-2018 粉塵層電阻率測定方法; GB/T 16427-1996 粉塵層電阻率測定方法; 20091194-T-450 粉塵層電阻率測定方法

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