標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 17864-1999
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:關(guān)鍵尺寸(CD)計(jì)量方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:CD Metrology procedures
標(biāo)準(zhǔn)類型:L56
發(fā)布日期:1999/9/13 12:00:00
實(shí)施日期:2000/6/1 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):L56
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):31.200
適用范圍: 本標(biāo)準(zhǔn)的目的是規(guī)定計(jì)量系統(tǒng)進(jìn)行光刻工藝中CD圖形尺寸計(jì)量精確度的統(tǒng)一方法。本標(biāo)準(zhǔn)不涉及如何用這些計(jì)量系統(tǒng)去解決問題、也不涉及工藝中其他影響因素的變化,如大圓片的熱處理、曝光機(jī)的聚焦控制、以及材料等。 計(jì)量或測(cè)量是生產(chǎn)活動(dòng)中的基礎(chǔ)。**要靠它的監(jiān)控來建立可行的生產(chǎn)能力,而后要用它來檢驗(yàn)產(chǎn)品是否符合規(guī)范或設(shè)計(jì)指標(biāo)。 本標(biāo)準(zhǔn)討論的參數(shù)是精確度??煽啃院途€性度等其他的重要參數(shù)將在其他的標(biāo)準(zhǔn)中介紹。 本標(biāo)準(zhǔn)說明如何在集成電路大圓片制造的光刻工序這種非常特殊的應(yīng)用中決定計(jì)量/測(cè)量系統(tǒng)的性能。本標(biāo)準(zhǔn)也適用于IC掩模制造工序,這時(shí)標(biāo)準(zhǔn)中的“大圓片”可換成“掩?!薄? 集成電路大圓片成品需要進(jìn)行電性能測(cè)量。但在光刻工藝的中間測(cè)量,有助于預(yù)估和控制*后成品的性能。本標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用于光刻中間測(cè)量和成品測(cè)量,但與所采用的具體工藝技術(shù)無關(guān)。 測(cè)量結(jié)果與系統(tǒng)性能依賴于所用的樣品。所以,只有在采用同樣材料成分構(gòu)成的一個(gè)樣品進(jìn)行測(cè)量時(shí),才能正確比較不同系統(tǒng)的性能或同一系統(tǒng)在不同時(shí)間的性能。
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