GB/T 34894-2017 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)應(yīng)變梯度測(cè)量方法 現(xiàn)行
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-14
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)應(yīng)變梯度測(cè)量方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2017-11-01
實(shí)施日期：2018-05-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：L55
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.200
歸口單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
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