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BS ISO 16700-2004 微電子束分析.掃描電子顯微鏡.圖像放大校準(zhǔn)指南

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-15

標(biāo)準(zhǔn)號：BS ISO 16700-2004
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：微電子束分析.掃描電子顯微鏡.圖像放大校準(zhǔn)指南
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification
標(biāo)準(zhǔn)類型：N33
發(fā)布日期：2004/9/29 12:00:00
實(shí)施日期：2004/9/29 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：N33
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：37.020
適用范圍：This International Standard specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. This International Standard does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

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