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20202830-T-469 碳化硅單晶位錯密度的測試方法正在起草

作者：百檢網時間：2021-07-16

標準號：20202830-T-469
中文標準名稱：碳化硅單晶位錯密度的測試方法
英文標準名稱：Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide
標準狀態：正在起草
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：北京天科合達半導體股份有限公司
相近標準： ?碳化硅單晶位錯密度的測試方法;20091221-T-469 ?碳化硅單晶片直徑測試方法;GB/T 30866-2014 ?碳
標準制修訂：制訂

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