標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 31469-2015
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:半導(dǎo)體材料切削液
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:Semiconductor materials cutting fluid
標(biāo)準(zhǔn)類型:L90
發(fā)布日期:2015/5/15 12:00:00
實(shí)施日期:2016/1/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號:L90
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號:31-030
引用標(biāo)準(zhǔn):GB/T 601;GB/T 603;GB/T 3143;GB/T 4472-2011;GB/T 6368;GB/T 6678;GB/T 6680;GB/T 6682-2008;GB/T 8170;GB/T 10247;GB/T 11275;GB/T 11446.1;GB/T 12582;GB/T 15346-2012
適用范圍:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體材料切削液的各項(xiàng)技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、儲存及運(yùn)輸?shù)纫蟆1緲?biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體材料線切割加工采用的切削液。
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