GB/T 6617-2009 硅片電阻率測(cè)定 擴(kuò)展電阻探針?lè)?
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-19
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：硅片電阻率測(cè)定 擴(kuò)展電阻探針?lè)?br/>英文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：H80
發(fā)布日期：2009/10/30 12:00:00
實(shí)施日期：2010/6/1 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：H80
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：29.045
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 1550;GB/T 1552;GB/T 1555;GB/T 14847
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片電阻率的擴(kuò)展電阻探針測(cè)量方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量晶體晶向與導(dǎo)電類(lèi)型已知的硅片的電阻率和測(cè)量襯底同型或反型的硅片外延層的電阻率，測(cè)量范圍：10
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