GB/T 14146-2009 硅外延層載流子濃度測定.汞探針電容-電壓法
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：硅外延層載流子濃度測定.汞探針電容-電壓法
英文標準名稱：Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method
標準類型：H80
發布日期：2009/10/30 12:00:00
實施日期：2010/6/1 12:00:00
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
引用標準：GB/T 1550-1997;GB/T 1552-1995;GB/T 14847-1993
適用范圍：本標準規定了硅外延層載流子濃度汞探針電容-電壓測量方法。本標準適用于同質的硅外延層載流子濃度測量。測量范圍為：4×10
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