標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 24579-2009
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：酸浸取.原子吸收光譜法測(cè)定多晶硅表面金屬污染物
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：Test methods for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：H80
發(fā)布日期：2009/10/30 12:00:00
實(shí)施日期：2010/6/1 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：H80
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：29.045
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 11446.1-1997;ISO 14644-1
適用范圍：1. 1本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質(zhì)，并用石墨爐原子吸收定量檢測(cè)多晶硅塊表面上的痕量金屬雜質(zhì)分析方法。1.2本標(biāo)準(zhǔn)適用于堿金屬、堿土金屬和**系列過(guò)渡元素如鈉、鋁、鐵、鉻、鎳、鋅的檢測(cè)。1.3本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種棒、塊、粒、片形多晶或單晶硅表面金屬污染物的檢測(cè)。由于塊、片或粒形狀不規(guī)則，面積很難準(zhǔn)確測(cè)定，根據(jù)樣品重量計(jì)算結(jié)果。使用的樣品重量為50 g～300 g，檢測(cè)限為0.01 ng/g。1.4酸的強(qiáng)度、組成、溫度和浸取時(shí)間決定著表面腐蝕深度和表面污染物的浸取效率。在這個(gè)試驗(yàn)方法中腐蝕掉的樣品重量小于樣品重量的1%。1.5該試驗(yàn)方法提出了一種特定的樣品尺寸、酸組成、腐蝕周期、試驗(yàn)環(huán)境和儀器方案，這些參數(shù)可以調(diào)整，但可能影響金屬的回收效率及滯留量。該方法適用于重量為25 g～5 000 g的樣品的測(cè)定，為達(dá)到仲裁的目的，該試驗(yàn)方法規(guī)定樣品重量為300 g。該試驗(yàn)方法在干擾和結(jié)果的偏差方面做了詳細(xì)說(shuō)明。1.6該試驗(yàn)方法詳細(xì)說(shuō)明了用于分析酸提取痕量金屬含量的石墨爐原子吸收光譜法的使用。也可使用靈敏度相當(dāng)?shù)钠渌麅x器如電感耦合等離子體/質(zhì)譜儀。1.7方法的檢測(cè)限和偏差取決于酸提取過(guò)程的效率、樣品尺寸、方法干擾、每個(gè)元素的吸收譜及儀器靈敏度、背景和空白值。1.8該方法是用熱酸來(lái)腐蝕掉硅表面，腐蝕劑是有害的，操作必須在通風(fēng)櫥中進(jìn)行，整個(gè)過(guò)程中必須非常小心。氫氟酸溶液非常危險(xiǎn)，不熟悉專(zhuān)門(mén)防護(hù)措施的人不能使用。