20141883-T-469 單基板器械位置操作處理參考位置規(guī)范 正在審查
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-21
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：?jiǎn)位迤餍滴恢貌僮魈幚韰⒖嘉恢靡?guī)范
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Specification For Reference Position of Single Substrate For Handing Off On Tool
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：正在審查
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)標(biāo)計(jì)劃
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實(shí)施日期：1999/12/31 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.030
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：東旭集團(tuán)有限公司
起草人：曹可慰
相近標(biāo)準(zhǔn)：WS 506-2016 ?口腔器械消毒滅菌技術(shù)操作規(guī)范;20075989-T-466 ?地理信息 基于位置服務(wù) 參考模型;G
標(biāo)準(zhǔn)制修訂：制訂
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