DINEN62047-12-2012 半導(dǎo)體器件微電機(jī)器件第12部分：用微電機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)諧振進(jìn)行薄膜材料的彎曲疲勞試驗(yàn)方法
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-21
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：半導(dǎo)體器件微電機(jī)器件第12部分：用微電機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)諧振進(jìn)行薄膜材料的彎曲疲勞試驗(yàn)方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part12:BendingfatiguetestingmethodofthinfilmmaterialsusingresonantvibrationofMEMSstructures(IEC62047-12:2011);GermanversionEN62047-12:2011
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：L40
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.080.01 ? 31.220.01
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