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GB/T14141-1993(已作廢) 硅外延層,擴散層和離子注入層薄層電阻的測定直排四探針法

作者:百檢網 時間:2021-07-22

標準號:GB/T14141-1993(已作廢)
中文標準名稱:硅外延層,擴散層和離子注入層薄層電阻的測定直排四探針法
中國標準分類號:H81
國際標準分類號:29.040.30
被以下標準代替:ASTMF374-1984,修改采用

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