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IEC 62047-16-2015 半導(dǎo)體器件 微型機(jī)電設(shè)備 第16部分:測(cè)定MEMS膜殘留應(yīng)力的試驗(yàn)方法 晶片彎曲法和懸臂梁偏位法 A

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-26

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：IEC 62047-16-2015
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：半導(dǎo)體器件 微型機(jī)電設(shè)備 第16部分:測(cè)定MEMS膜殘留應(yīng)力的試驗(yàn)方法 晶片彎曲法和懸臂梁偏位法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Edition 1.0)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：A
標(biāo)準(zhǔn)類型：國際標(biāo)準(zhǔn)
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.080.99

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