20051092-T-469 電子工業用氣體 三氟化氮 已發布
作者：百檢網 時間：2021-07-29
中文標準名稱：電子工業用氣體 三氟化氮
英文標準名稱：Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride
標準狀態：已發布
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：中國船舶重工集團公司第七一八研究所
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：湖北沙隆達天門農化有限責任公司
起草人：余啟富
相近標準：GB/T 21287-2007 ?電子工業用氣體 三氟化氮; ?電子工業用氣體 三氟化氮;20110735-T-469 ?電子工
標準制修訂：制訂
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