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20031796-T-610 硅多晶氣氛區(qū)熔基磷檢驗方法 已發(fā)布

作者:百檢網(wǎng) 時間:2021-07-29

標(biāo)準(zhǔn)號:20031796-T-610
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅多晶氣氛區(qū)熔基磷檢驗方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):已發(fā)布
標(biāo)準(zhǔn)類型:國標(biāo)計劃
發(fā)布日期:1999/12/31 12:00:00
實施日期:1999/12/31 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號:H17
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號:77.040.01
歸口單位:中國有色金屬工業(yè)協(xié)會
主管部門:中國有色金屬工業(yè)協(xié)會
起草單位:蛾眉半導(dǎo)體材料廠
相近標(biāo)準(zhǔn):GB/T 4059-1983 ?硅多晶氣氛區(qū)熔磷檢驗方法;20153657-T-469 ?硅多晶氣氛區(qū)熔基磷檢驗方法;GB/T
標(biāo)準(zhǔn)制修訂:修訂

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