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GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接觸式標準測試方法現行

作者：百檢網時間：2021-07-29

標準號：GB/T 19922-2005
中文標準名稱：硅片局部平整度非接觸式標準測試方法
英文標準名稱：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2005/9/19 12:00:00
實施日期：2006/4/1 12:00:00
中國標準分類號：H17
國際標準分類號：77.040.01
歸口單位：工業和信息化部（電子）
主管部門：工業和信息化部（電子）
起草單位：洛陽單晶硅有限責任公司
相近標準：20065631-T-469 ?硅片翹曲度非接觸式測試方法;GB/T 6620-1995 ?硅片翹曲度非接觸式測試方法;GB/T

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