GB/T 32188-2015 氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法
作者：百檢網 時間：2021-07-29
中文標準名稱：氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法
英文標準名稱：Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
標準類型：H21
發布日期：2015/12/10 12:00:00
實施日期：2016/11/1 12:00:00
中國標準分類號：H21
國際標準分類號：77.040
適用范圍：本標準規定了利用雙晶X射線衍射儀測試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法。本標準適用于化學氣相沉積及其他方法生長制備的氮化鎵單晶襯底片。
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