GB/T 14601-2009 電子工業(yè)用氣體.氨
作者：百檢網 時間：2021-07-29
中文標準名稱：電子工業(yè)用氣體.氨
英文標準名稱：Gas for electronic industry.Ammonia
標準類型：G86
發(fā)布日期：2009/10/30 12:00:00
實施日期：2010/5/1 12:00:00
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
引用標準：GB 190-2009;GB/T 3723-1999;GB 7144-1999;GB 14193-2009;氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程;壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程
適用范圍：本標準規(guī)定了氨的技術要求，試驗方法以及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。本標準適用于半導體工業(yè)，氮化硅、氮化鎵的化學氣相淀積，也可用于硅或氧化硅的氮化。
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