GB/T 16944-2009 電子工業用氣體.氮
作者：百檢網 時間：2021-07-29
中文標準名稱：電子工業用氣體.氮
英文標準名稱：Gas for electronic industry.Nitrogen
標準類型：G86
發布日期：2009/10/30 12:00:00
實施日期：2010/5/1 12:00:00
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
引用標準：GB 190-2009;GB/T 3723-1999;GB/T 3864-2008;GB 5099-1994;GB 7144-1999;GB/T 8984-2008;GB 14194-2006;GB 16912-2008;JB/T 5905-2000;JB/T 6897-2000;JB/T 6898-1997;氣瓶安全監察規程;壓力容器安全技術監察規程;壓力管道安全管理與監察規定
適用范圍：本標準規定了電子工業用氣體氮技術要求、試驗方法及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以深冷法從空氣中提取的氣態和液態氮，以及經電化學方法得到的氮。它們在超大規模集成電路制造中用作保護、吹掃、覆蓋、加壓，化學氣相淀積等。
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