標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 17864-1999
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：關(guān)鍵尺寸(CD)計量方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：CD Metrology procedures
標(biāo)準(zhǔn)類型：L56
發(fā)布日期：1999/9/13 12:00:00
實施日期：2000/6/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：L56
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：31.200
適用范圍： 本標(biāo)準(zhǔn)的目的是規(guī)定計量系統(tǒng)進(jìn)行光刻工藝中CD圖形尺寸計量精確度的統(tǒng)一方法。本標(biāo)準(zhǔn)不涉及如何用這些計量系統(tǒng)去解決問題、也不涉及工藝中其他影響因素的變化，如大圓片的熱處理、曝光機(jī)的聚焦控制、以及材料等。 計量或測量是生產(chǎn)活動中的基礎(chǔ)。**要靠它的監(jiān)控來建立可行的生產(chǎn)能力，而后要用它來檢驗產(chǎn)品是否符合規(guī)范或設(shè)計指標(biāo)。 本標(biāo)準(zhǔn)討論的參數(shù)是精確度。可靠性和線性度等其他的重要參數(shù)將在其他的標(biāo)準(zhǔn)中介紹。 本標(biāo)準(zhǔn)說明如何在集成電路大圓片制造的光刻工序這種非常特殊的應(yīng)用中決定計量/測量系統(tǒng)的性能。本標(biāo)準(zhǔn)也適用于IC掩模制造工序，這時標(biāo)準(zhǔn)中的“大圓片”可換成“掩模”。 集成電路大圓片成品需要進(jìn)行電性能測量。但在光刻工藝的中間測量，有助于預(yù)估和控制*后成品的性能。本標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用于光刻中間測量和成品測量，但與所采用的具體工藝技術(shù)無關(guān)。 測量結(jié)果與系統(tǒng)性能依賴于所用的樣品。所以，只有在采用同樣材料成分構(gòu)成的一個樣品進(jìn)行測量時，才能正確比較不同系統(tǒng)的性能或同一系統(tǒng)在不同時間的性能。