標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 26249-2010
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng):電子工業(yè)用氣體 硒化氫
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng):Gases for electronic industry.Hydrogen selenide
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型:G86
發(fā)布日期:2011/1/14 12:00:00
實(shí)施日期:2011/5/1 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào):G86
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào):71.100.20
引用標(biāo)準(zhǔn):GB 190;GB/T 3723;GB 5099;GB/T 5832.1;GB 7144;GB/T 8984;GB/T 11640;GB 14193;GB/T 26571;《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》
適用范圍:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硒化氫的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于硒鋁、硒鎂合金化合物水解、單質(zhì)硒與氫高溫反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的硒化氫產(chǎn)品。它主要用于太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。
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