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GB/T 26113-2010 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 微幾何量評定總則

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-07-31

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 26113-2010
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 微幾何量評定總則
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
標(biāo)準(zhǔn)類型：L55
發(fā)布日期：2011/1/10 12:00:00
實(shí)施日期：2011/10/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：L55
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：31.200
引用標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 3505;GB/T 18779.2;GB/T 26111
適用范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)、檢測機(jī)構(gòu)從事微機(jī)電技術(shù)及產(chǎn)品的研究、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢測。

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