GB/T 18867-2014 電子工業用氣體 六氟化硫
作者：百檢網 時間：2021-07-31
中文標準名稱：電子工業用氣體 六氟化硫
英文標準名稱：Gases for electronic industry.Sulphur hexaflouride
標準類型：G86
發布日期：2014/12/22 12:00:00
實施日期：2015/7/1 12:00:00
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
引用標準：GB 190;GB/T 3723;GB 5099;GB/T 5832.1;GB/T 5832.3;GB 7144;GB/T 8170;GB/T 12022;GB 14193;GB 15258;GB 16804;GB/T 26571;GB/T 28726-2012;氣瓶安全監察規程(2000版);危險化學品安全管理條例(2002版)
適用范圍：本標準規定了六氟化硫的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯存及安全等。本標準適用于硫與氟直接反應并經精制和純化制備的六氟化硫。該產品主要用作電子工業中化學氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。分子式:SF
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