20202918-T-469 氮化鋁材料中痕量元素（鎂、鎵）含量及分布的測定 二次離子質譜法 正在起草
作者：百檢網 時間：2021-08-05
中文標準名稱：氮化鋁材料中痕量元素（鎂、鎵）含量及分布的測定 二次離子質譜法
英文標準名稱：Test method for the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry method
標準狀態：正在起草
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：北京科技大學
相近標準： ?氮化鋁材料中痕量元素（鎂、鎵）含量及分布的測定 二次離子質譜法; ?氮化鎵材料中鎂含量的測定 二次離子質譜法;GB/T 3
標準制修訂：制訂
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