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20110877-T-469 硅基MEMS制造技術(shù) 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規(guī)范已發(fā)布

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-08-06

標(biāo)準(zhǔn)號：20110877-T-469
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅基MEMS制造技術(shù) 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規(guī)范
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：已發(fā)布
標(biāo)準(zhǔn)類型：國標(biāo)計劃
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：31.200
歸口單位：全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：北京大學(xué)
起草人：黃賢
相近標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 32816-2016 ?硅基MEMS制造技術(shù) 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規(guī)范;20110875-T-469 ?硅
標(biāo)準(zhǔn)制修訂：制訂

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