GB/T 19922-2005 GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接觸式標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-19
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接觸式標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
發(fā)布日期：2005-09-19
實(shí)施日期：2006-04-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：H82
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：77.040.01
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