GB/T 19922-2005 GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接觸式標準測試方法
作者：百檢網 時間：2021-08-19
中文標準名稱：GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接觸式標準測試方法
英文標準名稱：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
發布日期：2005-09-19
實施日期：2006-04-01
中國標準分類號：H82
國際標準分類號：77.040.01
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